布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供无与伦比的重现性,重现性低于4Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak 技术创新的顶峰,更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品,DektakXT 实现了最高性能。操作简易,从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子,半导体, 太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。
1.DektakXT 能实现:
无可匹敌的性能,台阶高度重现性低于 4Å
– Single-arch 设计提供具突破性的扫描稳定性
– 先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准
– 新硬件配置使数据采集时间缩短 40%
– 64-bit, Vision64 同步数据处理软件,使数据 分析速度提高了十倍
效率空前,操作简易
– 直观的 Vision64 用户界面,操作简易
– 针尖自动校准系统,让用户轻松更换针尖
探针轮廓仪领域,无与伦比的价值
– 布鲁克(Bruker)以实惠的配置实现 最高的性能
– 单传感器设计,提供单一平面上低作用力和宽扫 描范围
2.40 多年不断创新
建立在 40 多年的探针轮廓技术创新的知识与经验之上 — 第一部薄膜测试仪,第一部基于微处理器的轮廓仪,和 第一部 300mm 自动轮廓仪—DektakXT 继承了以往的 “第一”。新的 DektakXT 是首部使用 single-arch 设计的探针轮廓仪,首部内置真彩高清光学摄像机,及安装 64-bit 并行处理架构已获得最佳测量及操作效率的探针轮廓仪。
3.设计优越
探针轮廓仪的性能受三个基本因素影响:测量重现性,分析结果所需的时间和操作的简易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。 DektakXT 利用全新结构和和最佳软件来实现以上三个因素,以获得最佳的使用效果。
实现测量的可重现性
DektakXT 的领先设计使其在测量台阶高度重现性方面具有优异的表现,台阶高度重现性可低于 4Å。使用 single-arch 结构比原先的悬臂梁设计更加稳固,降低了对不利环境条件的敏感性,如声音和震动噪音。凭借 single-arch 结构的辅助, Bruker 大大提高了电子器件的稳定性,降低了温度变化影响,及使用现代处理器。
提高数据采集和分析速度
利用独特的直接驱动扫描平台,Dektak XT 大大提高了大范围扫描 3D 形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓仪而言,通常是耗时的)的扫描速度 , 减少了扫描的时间。在保证行业领先的质量和重现性前提下,Dektak XT 可以将数据采集处理的速度提高 40%。另外,DektakXT采用 Vision64操作软件,提高了大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度,并且加快了滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析。
让一切变得轻松
对多用户仪器而言,能快速轻松更换探针以适应不同应用是必要的。DektakXT 新的针尖自动校准, 消除任何潜藏的针尖更换/校准隐患。这一创新让 其他困难并耗时的任务变得轻松且快速。为尽量满 足使用的要求,Bruker 提供了范围广泛的标准和客户定制探针规格,包括用于深沟渠测量的高径比针尖。
完善的操作和分析系统
与 DektakXT 的创新性设计相得益彰的配置是 Bruker 的 Vision64 操作分析软件。Vision64 提供了业界最为实用精简的图示用户界面,结合智能结构,具备可视化工作流程及各种自助设定功能,以满足用户快速并全面进行数据收集和分析。